(1)Yi, Z.*, Liu, Y., Meert, J. G., Wang, T., & Huang, B. 2023. A new view of the Pangea supercontinent with an emphasis on the East Asian blocks. Earth and ...
这种 RIE、IBS与原位钝化工艺集成方案,使 LMEC-300™ 成为新兴存储器件关键工艺的优选。 系统特性 设备集成了 Chimera® N 反应离子刻蚀(RIE)腔室、Pangea® A 离子束塑形(IBS)腔室、Basalt® A 原位(in-situ)沉积腔室,工艺不离开真空环境 对于磁隧道结等难于形成 ...